• Эра синтетических звёзд началась: ИИ-актриса Тилли Норвуд уже получает роли и набирает популярность (видео)

    Возможности современных систем генеративного искусственного интеллекта не ограничиваются созданием реалистичных статичных образов людей и коротких роликов, им вполне по силам создание целых виртуальных актёров. Агентство Xicoia утверждает, что порождённая ИИ актриса Тилли Норвуд стремительно набирает популярность как у зрителей, так и ...
    Читать дальше
  • Энтузиасты объединили двенадцать dial-up модемов для просмотра YouTube без тормозов (видео)

    Четверть века назад вряд ли кто-то думал о широкополосном подключении к интернету. Тогда верхом совершенства была работа по коммутируемому каналу на скорости 56 Кбит/с. При этом оставалась возможность параллельного подключения пары модемов и, теоретически, ещё большего их числа. Сегодня сайты и сервисы «потяжелели» настолько, что 100 М...
    Читать дальше
  • Госдума приняла закон против автоматических списаний за онлайн-подписки

    Госдума приняла во втором и третьем чтениях поправки к закону «О защите прав потребителей», запрещающие онлайн-сервисам автоматически списывать деньги за подписки, передаёт ТАСС. Если закон будет принят, он вступит в силу с 1 марта 2026 года.
    Читать дальше
  • Представлены флагманы Xiaomi 17 Pro и Pro Max — в стиле iPhone 17 Pro, но с большим внешним экраном (11 фото)

    Xiaomi официально представила новые флагманские смартфоны Xiaomi 17 Pro и Xiaomi 17 Pro Max, которые оснащены дополнительным внешним дисплеем на тыльной стороне корпуса. Эта особенность позволит пользователям делать селфи с основной камеры, как в смартфонах с гибким дисплеем. Но этим применение внешних экранов не ограничится. В дополне...
    Читать дальше
  • Власти официально объявили о суверенитете интернета в России

    Россия входит в число трёх стран мира, которые обладают полным цифровым суверенитетом, наряду с США и Китаем. Об этом в рамках выступления на Российском интернет-форуме (РИФ-2025) заявил первый заместитель руководителя администрации президента РФ Сергей Кириенко.
    Читать дальше

В Китае создали суверенный твердотельный источник света для EUV-литографов, превосходящий ASML

29 апреля 2025 | Просмотров: 2 790 | Гаджет новости

EUV-литографы компании ASML в качестве основы для источника света используют газовые лазеры CO₂. Они достаточно мощные, но при этом громоздкие и малоэффективные по сравнению с твердотельными лазерами. Твердотельные лазеры, в свою очередь, не отличаются высокой мощностью и непригодны для установки в литографы, хотя имеют колоссальные перспективы в этой области. У Китая также появились свои разработки в этой сфере, и они не хуже, чем у других.

Недавно команда из Шанхайского института оптики и точной механики (Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics) Китайской академии наук под руководством Линя Наня (Lin Nan), ранее возглавлявшего отдел технологии источников света в ASML в Нидерландах, опубликовала в китайском научном журнале Lasers работу, посвящённую разработке в Китае твердотельного лазера для источника света EUV-литографа. Тем самым Китай приближается к созданию собственных EUV-литографов для производства самых передовых полупроводников, поскольку США запрещают продавать такое оборудование китайским компаниям.

Конверсионная эффективность газовых лазеров CO₂ составляет около 5 % (в свет превращается лишь 5 % затраченной на его производство электрической энергии). Твердотельные лазеры обещают превзойти этот показатель, а если говорить о габаритах, то сравнение и вовсе не в пользу газовых лазеров: одно дело — работа с газом, другое — компактный «светодиод». Сегодня полупроводниковые твердотельные лазеры широко применяются для сварки и других операций с металлом.

Пока что мощность распространённых твердотельных лазеров сравнительно невелика для целей литографического производства — около 1 Вт, реже до 10 Вт. Газовый лазер способен развивать мощность до 250 Вт. Тем не менее твердотельные лазеры уже сегодня можно использовать в рамках EUV-литографии — например, для проверки EUV-масок на наличие дефектов или для оценки воздействия EUV-излучения на материалы.

В своих экспериментах китайская группа добилась конверсионной эффективности твердотельного лазера с длиной волны 1 мкм на уровне 3,42 %. Это выше, чем у группы учёных Нидерландского центра передовых исследований в области нанолитографии, добившейся в 2019 году 3,2 %, и чем у исследователей из Швейцарского федерального технологического института в Цюрихе (ETH Zurich), достигших 1,8 % в 2021 году.

Впереди остались только американские и японские исследователи: группа из Университета Центральной Флориды (University of Central Florida) в 2007 году показала лазерную установку с эффективностью 4,9 %, а учёные из японского Университета Уцуномия (Utsunomiya University) — с результатом 4,7 %.

Для сравнения, эффективность преобразования коммерчески доступных источников света для EUV-фотолитографии на основе CO₂-лазера составляет около 5,5 %.


Комментарии: 0

В Вашем браузере отключен JavaScript. Для корректной работы сайта настоятельно рекомендуется его включить.