• Астрономы обнаружили потенциально обитаемую планету «недалеко» от Земли (2 фото + видео)

    Астрономы обнаружили новую экзопланету HD 20794 d, классифицированную как суперземля и расположенную в 19,6 светового года от нас. Планета находится в обитаемой зоне своей звезды, что предполагает возможность наличия жидкой воды на её поверхности.
    Читать дальше
  • NASA обнаружило «элементы жизни» в образцах астероида Бенну (2 фото)

    Учёные NASA проанализировали образцы, собранные с астероида Бенну в ходе миссии OSIRIS-REx, и нашли в них органические соединения, играющие важную роль в происхождении жизни. В частности, были обнаружены фундаментальные элементы, необходимые для синтеза белков и формирования ДНК.
    Читать дальше
  • DOOM запустили на HDMI-переходнике Apple (видео)

    Среди энтузиастов со всего мира стало своеобразным состязанием запускать DOOM на любой электронике и не только. Оказывается, поиграть в культовый шутер можно даже на HDMI-переходнике Apple. Таким достижением поделилась девушка-программист под ником Nyan Satan.
    Читать дальше
  • Совершён первый в истории видеозвонок через космос между обычными смартфонами

    Спутниковый провайдер AST SpaceMobile и оператор мобильной связи Vodafone из Великобритании сообщили об успешном выполнении видеозвонка между двумя немодифицированными смартфонами с использованием спутниковой связи. В 2023 году AST осуществила первый в истории звонок между обычными смартфонами через спутник, а также первый такой звонок че...
    Читать дальше
  • Первый отрезок гигантского «лежачего небоскрёба» The Line в Саудовской Аравии построят к 2030 году (3 фото)

    На Всемирном экономическом форуме в Давосе стали известны новые подробности о мегапроекте Neom в Саудовской Аравии. В частности, появилась новая информация о строительстве города The Line («Линия») длиной 170 км и высотой 500 м. На форуме представитель проекта сообщил, что закладка фундамента для первой очереди «лежачего небоскрёба» начнё...
    Читать дальше

В России завершены работы по созданию первого отечественного литографа

31 марта 2025 | Просмотров: 1 803 | Гаджет новости

На примере китайской полупроводниковой промышленности можно понять, насколько важно наличие собственного оборудования для выпуска чипов в условиях ограниченности доступа к импортному. В России недавно завершились работы по созданию первого отечественного литографа, позволяющего работать с 350-нм технологией.

Об этом неделю назад сообщил Зеленоградский нанотехнологический центр (ЗНТЦ). Разработанный специалистами центра фотолитограф называется «установкой совмещения и проекционного экспонирования с разрешением 350 нм», он был разработан в сотрудничестве с белорусской компанией ОАО «Планар». Установка была принята государственной комиссией, в настоящее время ведётся её адаптация к применяемым конечными потребителями техпроцессам, заключаются контракты на поставку серийного оборудования. В следующем году планируется завершить работы по созданию российского литографа, позволяющего работать с 130-нм нормами.

«Новая совместная разработка имеет ряд преимуществ: существенно увеличена площадь рабочего поля — 22 × 22 мм по сравнению с предшествующей — 3,2 × 3,2 мм, на ступень больше максимальный диаметр обрабатываемых пластин — 200 мм вместо 150 мм. Кроме того, в мировой практике для производства данных литографов в качестве источника излучения используется ртутная лампа, в российской установке впервые использован твердотельный лазер – более мощный и энергоэффективный, с высокой долговечностью и более узким спектром», — пояснил генеральный директор АО «ЗНТЦ» Анатолий Ковалев.

Стоит отметить, что ведущий мировой производитель литографических систем — нидерландская компания ASML, в своём оборудовании, предназначенном для работы с сопоставимыми технологическими нормами, использовала источники излучения другого типа. Для техпроцессов класса 350 нм применялись ртутные лампы с длиной волны 365 нм, для техпроцессов 250 нм и более прогрессивных применялись источники излучения на базе фторида криптона с длиной волны 248 нм. Наконец, для норм 130 нм и тоньше использовались системы с глубоким ультрафиолетовым излучением (DUV) на основе фторида аргона с длиной волны 193 нм.

Твердотельные лазеры также использовались при производстве полупроводниковых компонентов ранее, но преимущественно во вспомогательных функциях типа анализа качества продукции и поиска дефектов, либо механической обработки кремниевых пластин. Теоретически, твердотельные лазеры могут применяться для экспонирования при производстве чипов по зрелым литографическим нормам от 250 нм и грубее, но та же ASML для этих целей с 90-х годов прошлого века использовала эксимерные источники лазерного излучения на основе фторидов криптона или аргона.

По мировым меркам оборудование для выпуска 350-нм чипов может казаться устаревшим, но соответствующие компоненты ещё способны найти применение в силовой электронике, автомобильной промышленности и оборонной сфере. Скорее всего, ЗНТЦ сделает основной упор на создание и продвижение литографов следующего поколения, которые уже позволят выпускать 130-нм чипы. Теми же «Ангстремом» и «Микроном» они будут востребованы в большей степени, поскольку компании выпускают ассортимент продукции в диапазоне норм от 250 до 90 нм. Поставленные правительством РФ цели подразумевают освоение 28-нм технологии к 2027 году и 14-нм технологии к 2030 году. Пока отечественные производители оборудования отстают от намеченного графика.


Написать комментарий

  • bowtiesmilelaughingblushsmileyrelaxedsmirk
    heart_eyeskissing_heartkissing_closed_eyesflushedrelievedsatisfiedgrin
    winkstuck_out_tongue_winking_eyestuck_out_tongue_closed_eyesgrinningkissingstuck_out_tonguesleeping
    worriedfrowninganguishedopen_mouthgrimacingconfusedhushed
    expressionlessunamusedsweat_smilesweatdisappointed_relievedwearypensive
    disappointedconfoundedfearfulcold_sweatperseverecrysob
    joyastonishedscreamtired_faceangryragetriumph
    sleepyyummasksunglassesdizzy_faceimpsmiling_imp
    neutral_faceno_mouthinnocent

Кликните на изображение чтобы обновить код, если он неразборчив

Комментарии: 3

  1. Гость TIM
    31 марта 2025 20:07 Гость TIM
    Как 350-нм?! А как же академик Николай Чхало? Он же предлагал сделать лучше, чем у ASML, которые уже сейчас уходят меньше 3-нм. Он же говорил, что у ASML там не та длина волны и пр. Мол, мы сделаем с другой длиной и будет дешевле и лучше. А тут бац - 350-нм. Ну, надеюсь хоть дешевле.
    + 2
    Ответить
    1. Mirai
      1 апреля 2025 08:08 Mirai
      Хотелось бы для начала 24 нм, а потом уже уменьшать до 3-х и меньше. Хотя бы 24, это было бы уже хорошо. Походу никто электроникой заниматься не хочет, готовое сразу хотят, желательно из Китая.
      + 1
      Ответить
      1. Гость TIM
        1 апреля 2025 10:13 Гость TIM
        Если без иронии, то совершенно согласен. Да хоть бы с 45-нм начали, но не с 350 же. 350-нм - это примерно уровень Intel 30-летней давности. Причём у них тогда это было уже в серийном железе - компах. А здесь пока максимум - прототип станка, который в теории может производить пластины. Это ещё далеко не чипы. Зато наш профессор чего-то там Чхало ещё в прошлом году заявил, что литографы ASML для нас не авторитет. Мы сделаем лучше и дешевле. Вот, сделали похоже)
        + 1
        Ответить
В Вашем браузере отключен JavaScript. Для корректной работы сайта настоятельно рекомендуется его включить.